簡要描述：OPTM 系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過絕對反射率進(jìn)行測量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。

可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件。

產(chǎn)品特色

● 非接觸、非破壞式，量測頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內(nèi)

● 初學(xué)者也能輕松解析建模的初學(xué)者解析模式

● 高精度、高再現(xiàn)性量測紫外到近紅外波段內(nèi)的絕對反射率，可分析多層薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)（n：折射率、k：消光系數(shù)）

● 單點(diǎn)對焦加量測在1秒內(nèi)完成

● 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外 ~ 近紅外）

● 獨(dú)立測試頭對應(yīng)各種inline定制化需求

● 最小對應(yīng)spot約3μm

● 可針對超薄膜解析nk

量測項(xiàng)目

●絕對反射率分析

●多層膜解析（50層）

●光學(xué)常數(shù)（n：折射率、k：消光系數(shù)）

膜或者玻璃等透明基板樣品，受基板內(nèi)部反射的影響，無法正確測量。OPTM系列使用物鏡，可以物理去除內(nèi)部反射，即使是透明基板也可以實(shí)現(xiàn)高精度測量。此外，對具有光學(xué)異向性的膜或SiC等樣品，也可不受其影響，單獨(dú)測量上面的膜。

（zhuanli編號    第 5172203 號）

應(yīng)用范圍

● 半導(dǎo)體、復(fù)合半導(dǎo)體：硅半導(dǎo)體、碳化硅半導(dǎo)體、砷化鎵半導(dǎo)體、光刻膠、介電常數(shù)材料

● FPD：LCD、TFT、OLED（有機(jī)EL）

● 資料儲存：DVD、磁頭薄膜、磁性材料

● 光學(xué)材料：濾光片、抗反射膜

● 平面顯示器：液晶顯示器、薄膜晶體管、OLED

● 薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等

● 其它：建筑用材料、膠水、DLC等

規(guī)格式樣

（自動(dòng)XY平臺型）

OPTM 選型

自動(dòng)XY平臺型

固定框架型

嵌入頭型

波長與膜厚范圍

選型表

物鏡

量測案例

半導(dǎo)體行業(yè) – SiO2、SiN膜厚測定案例

半導(dǎo)體工藝中，SiO2用作絕緣膜，而SiN用作比SiO2更高介電常數(shù)的絕緣膜，或是用作CMP去除SiO2時(shí)的阻斷保護(hù)，之后SiN也被去除。絕緣膜的性能像這樣被使用時(shí)，為了精確的工藝控制，有必要測量這些膜厚度。

FPD行業(yè) – 彩色光阻膜厚測定

彩色濾光片薄膜的制程中，一般將彩色光阻涂布在整個(gè)玻璃表面，通過光刻進(jìn)行曝光顯影留下需要的圖案。RGB三色依次完成此工序。

彩色光阻的厚度不恒定是導(dǎo)致RGB圖案變形、彩色濾光片顏色偏差的原因，因此對彩色光阻的膜厚管理非常重要。

FPD行業(yè) – 用傾斜模式解析ITO構(gòu)造

ITO膜是液晶面板等使用的透明電極材料，制膜后需經(jīng)過退火處理(熱處理)提升導(dǎo)電性和透光性。此時(shí)，氧狀態(tài)和結(jié)晶性發(fā)生變化，使得膜厚產(chǎn)生階段性的傾斜變化。在光學(xué)上不能看作是構(gòu)成均一的單層膜。

對這樣的ITO用傾斜模式，由上部界面和下部界面的nk值，對傾斜程度進(jìn)行測量。

半導(dǎo)體行業(yè) – 使用界面系數(shù)測定粗糙基板上的膜厚

如果基板表面非鏡面且粗糙度大，則由于散射，測量光降低且測量的反射率低于實(shí)際值。

通過使用界面系數(shù)，因?yàn)榭紤]到了基板表面上的反射率的降低，可以測量出基板上薄膜的膜厚值。

DLC涂層行業(yè) – 各種用途DLC涂層厚度的測量

DLC(類金剛石)涂層由于其高硬度、低摩擦系數(shù)、耐磨性、電絕緣性、高阻隔性、表面改性以及與其他材料的親和性等特征，被廣泛用于各種用途。

采用顯微光學(xué)系統(tǒng)，可以測量有形狀的樣品。此外，監(jiān)視器一邊確認(rèn)檢查測量位置一邊進(jìn)行測量的方式，可以用于分析異常原因。