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      極紫外 (EUV) 二向色濾光片

      簡(jiǎn)要描述:極紫外 (EUV) 二向色濾光片
      在高次諧波發(fā)生器中將極紫外(EUV)與近紅外激光源分開
      專為高損傷閾值設(shè)計(jì)
      支持從10 - 40納米的應(yīng)用
      現(xiàn)貨儲(chǔ)備
      無最小起訂量、無鍍膜批次收費(fèi)

      基礎(chǔ)信息

      產(chǎn)品型號(hào)

      廠商性質(zhì)

      經(jīng)銷商

      更新時(shí)間

      2026-01-06

      瀏覽次數(shù)

      1548
      詳細(xì)介紹
      品牌Edmund Optics價(jià)格區(qū)間面議
      組件類別光學(xué)元件應(yīng)用領(lǐng)域綜合

      極紫外 (EUV) 二向色濾光片

      在高次諧波發(fā)生器中將極紫外(EUV)與近紅外激光源分開

      專為高損傷閾值設(shè)計(jì)

      支持從10 - 40納米的應(yīng)用

      現(xiàn)貨儲(chǔ)備

      無最小起訂量、無鍍膜批次收費(fèi)


      通用規(guī)格

      直徑 (mm):
      50.80
      入射角 (°):
      78
      基底:
      Fused Silica (Corning 7980)
      涂層:
      Dielectric Multilayer AR
      表面質(zhì)量:
      20-10
      厚度 (mm):
      5.08 ±0.1
      平行度(弧分):
      <5
      尺寸容差 (mm):
      +0.0/-0.2
      面形計(jì)算 (RMS):
      <λ/10 @ 633nm


      型號(hào)


      產(chǎn)品編碼Dia. (mm)厚度 (mm)波長范圍 (nm)
      18-27950.80 5.08 ±0.110 - 25 
      18-28050.80 5.08 ±0.120 - 40 


      詳細(xì)資料

      極紫外(EUV)二向色濾光片也被稱為分束鏡,是通過在極紫外(EUV)和近紅外波長之間提供高分離效率,用于高次諧波產(chǎn)生的應(yīng)用。這些濾光片采用熔融石英基片,相比其他布魯斯特角光束分離器和極紫外(EUV)濾光片,能支持更高的激光功率。極紫外(EUV)二向色濾光片的帶寬范圍從10納米到40納米。 除了高次諧波產(chǎn)生,這些濾光片還可用于支持極紫外(EUV)應(yīng)用的系統(tǒng),如EUV光刻、EUV納米加工、相干衍射成像和超快阿秒脈沖產(chǎn)生。


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