簡要描述：ZVR集成步進電機垂直和旋轉臺集成了10mm的垂直(Z軸)和360的連續旋轉(0軸)定位采用的三點驅動和軸承設計。它的設計主要是為了精確地提升和旋轉200毫米/300毫米晶圓卡盤和其他需要調整以對齊物體方向或聚焦的樣品或物體。在這一階段使用的步進電機是一個成本較低的替代直流伺服系統的要求不高的應用。運行開環。脈搏計數是一個很好的位置指示器

ZVR 通過沿著旋轉平臺外圓周的三個點（以 120 度分開）剛性地支撐和驅動有效載荷。常規設計在旋轉臺中心使用一個單個凸輪、楔塊或螺絲。具有串聯導軌和驅動機制的 Newport 的三點設計具有很多優點，非常適用于輕微不平衡載荷應用（例如，晶片探測），可以沿著卡盤的外邊緣位置施加垂直力。因這些偏心負載造成的角變形降低到最小程度，并且在垂直運動期間也不存在彎曲現象。

ZVR 設計的一個重要性能是含有一個穿過轉臺中心的 50 mm 通光孔徑，以支持通過電纜、線路和其他工具。

步進電機版本是一種更加經濟實惠的版本，適用于要求較低的應用。步進電機版本不使用編碼器反饋，但通過命令控制的步長和微步長的數量來到達某一位置。步進電機的一個優點是，即使在空轉時也能提供全轉矩。 ZVR平臺與ESP兼容，允許用戶在與Newport控制器一起使用時享受Newport的智能平臺功能。

Newport 保證根據 ASME B5.57 和 ISO 230-2 標準測量和記錄的規格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。